蓝绿光LED管芯表面钝化膜特性的研究

摘要：

　　蓝宝石衬底GaN基蓝绿光LED管芯因其表面双电极特点，部分pn结区裸露在管芯表面覆盖一层透明的介质膜，一方面能有效保护芯片结区不被污染，一方面还能优化芯片的光特性。本文主要研究了不同镀膜方式钝化膜、不同材料组成钝化膜对蓝绿光芯片的光电特性的影响。氧化硅薄膜中生长过程中含氧量越高，薄膜的透过率也越好，LED芯片的发光强度越高。

关键词： 蓝绿光LED管芯 光电特性 钝化膜特性 氧化硅薄膜

作者: 沈燕 刘青 蔺福合 王英 李树强 徐现刚

作者单位: 山东华光光电子有限公司,济南市高新区天辰大街1835号 250101 山东华光光电子有限公司,济南市高新区天辰大街1835号 250101 山东大学晶体材料国家重点实验室,济南市历城区山大南路27号 250100

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国国际半导体照明论坛

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 273-275

在线出版日期: 2011-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）