关键词： 多弧离子镀 膜沉积 复合膜 形貌观察 微区成分
作者: 李成明 张勇 曹尔妍
作者单位: 中科院力学所材料工程中心(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一次全国电子显微学会议
会议地点: 昆明
会议语种:中文
页码: 565～566
在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）