等离子体表面技术及其应用

摘要：

　　介绍了离子注入、离子束沉积、等离子体增强化学气相沉积、等离子体化学热处理、双层辉光离子渗金属、等离子喷涂和高分子材料表面改性等等离子体表面处理技术的基本原理和工艺特点，并给出了一些应用实例。

关键词： 等离子体 表面技术 工作原理 工艺特点 气相沉积

作者: 卫中山

作者单位: 汉胜工业设备(上海)有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011年全国石油化工机泵年会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 60-63

在线出版日期: 2011-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）