屏蔽泵在多晶硅装置中的应用

摘要：

　　介绍了我国多晶硅生产的发展趋势以及屏蔽泵在多晶硅装置中使用优势和出厂处理方案，在文章的最后列举了成功应用此项目的用户。

关键词： 屏蔽泵 多晶硅装置 处理方案 生产工艺 技术特点

作者: 贾凤芹 邹立莉

作者单位: 大连海密梯克泵业有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011年全国石油化工机泵年会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 78-79

在线出版日期: 2011-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）