多晶硅核心设备还原炉底盘应力分析

摘要：

　　本文通过应用有限元分析软件ANSYS对多晶硅核心设备还原炉底盘进行应力分析，明确底盘在特定危险工况栽荷下的应力应变情况，分析温差对底盘应力的影响、多开孔对底板应力的影响、底板变形对电极座及管件等的影响。应用分析设计的方法，保证还原炉底盘的安全性与经济性。

关键词： 还原炉 有限元分析 多晶硅 核心设备 底盘应力

作者: 那日萨 茅陆荣 周劲松

作者单位: 上海森松新能源设备有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011年全国石油化工设备年会

会议地点: 贵州

会议语种:中文

页码: 24-27

在线出版日期: 2011-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）