磁悬浮分子泵转轴位置测量系统实现

摘要：

　　磁悬浮分子泵具有无摩擦、无需润滑、无污染、高转速、寿命长等优点，广泛地应用于高真空度、高洁净度的真空获得领域。磁悬浮分子泵的基本原理是利用磁轴承产生电磁力使转轴处于无接触的悬浮状态，其悬浮状态的获得需要以转轴位置为基准实施磁轴承输出电磁力的控制。本文将就磁悬浮分子泵转轴位置测量系统及实现案例进行简要的论述。

关键词： 磁悬浮分子泵 转轴位置 测量系统 电感式传感器

作者: 陆宇 张剀 邹蒙 李奇志 朱国精

作者单位: 北京中科科仪技术发展有限责任公司,北京 100190

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011北京真空学会真空学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 38-41

在线出版日期: 2011-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）