小型环模设备真空系统的自动化控制

摘要：

　　小型空间环模设备真空系统组成简单，工作流程相对大中型环模设备更容易实现使用的自动化控制。本文介绍了近年在我所小型环模设备上实施的真空系统自动流程控制，并介绍了应用于小型空间环模设备的实例。

关键词： 小型环模设备 真空系统 自动化控制

作者: 杨瑞洪 茹晓勤 王宇 王军伟

作者单位: 北京卫星环境工程研究所,北京100094

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011北京真空学会真空学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 59-63

在线出版日期: 2011-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）