真空检漏中标准漏孔使用中的几个问题研究

摘要：

　　真空标准漏孔(以下简称“标准漏孔”)在氦质谱真空检漏中起着至关重要的作用。文章对渗氦型标准漏孔使用中的几个问题进行试验性研究。正确的标准漏孔保存可以减小其使用时的标定时间；辅助抽气系统可将标准漏孔出口端的高浓度氦气抽除至检漏系统外，极大的减小了标定时间，并使标定曲线接近理论曲线；用多漏孔校准一拟合法计算试件漏率可提高测试漏率的准确性和可靠性。

关键词： 真空检漏 标准漏孔 氦质谱

作者: 孙立志 汪力 齐飞飞 李文斌

作者单位: 北京卫星环境工程研究所, 北京100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011北京真空学会真空学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 69-77

在线出版日期: 2011-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）