影响多晶硅品质的因素

摘要：

　　在三氯氢硅加氢还原生产多晶硅过程中，影响产品品质的因素有：三氯氢硅提纯、三氯氢硅加氢还原和外来杂质等，受多晶硅分析要求精度高和分析手段不足的影响，建议从整个多晶硅生产工艺来分析和判断多晶硅杂质产生的原因。

关键词： 多晶硅 氢气提纯 三氯氢硅 生产工艺

作者: 董前程

作者单位: 江西景德半导体新材料有限公司,江西 景德镇 333000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第29届全国氯碱行业技术年会暨第12届“佑利杯”论文交流会

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 188-190

在线出版日期: 2011-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）