二氯二氢硅精馏提纯方案的研究与优化

摘要：

　　根据二氯二氢硅原料分析得到其实际组成与含量，结合工厂现有的生产设备与生产情况，应用Aspen Plus软件设计并模拟了分离二氯二氢硅原料中各种杂质的流程，并对各塔的操作参数进行了优化，使产品中杂质的含量控制在ppt级，模拟得到较好的结果。

关键词： 电子工业 二氯二氢硅 精馏提纯 参数优化

作者: 李闻笛 李鑫钢 廉景燕 丛山

作者单位: 天津大学化工学院,天津 300072 精馏技术国家工程研究中心(天津大学),天津 300072 精馏技术国家工程研究中心(天津大学),天津 300072 天津理工大学化学化工学院,天津 300072 天津大学化工学院,天津 300072 精馏技术国家工程研究中心(天津大学),天津 300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国化工学会2011年年会暨第四届全国石油和化工行业节能节水减排技术论坛

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 777-779

在线出版日期: 2011-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）