关键词： 多功能机 光刻 刻蚀 去胶 溅射台 镀膜
作者: 韩阶平 魏珂 田如江 刘辉
作者单位: 科学院微电子中心(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 772～773
在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）