多功能传感器信号互扰问题的计算机模拟

摘要：

对多晶硅压力-温度多功能传感器在大温度范围使用时,压力敏感元件和温度敏感元件之间的热场干扰进行了计算机模拟,结果表明:该传感器的温度敏感元件的热场对压力信号的干扰很小,可以忽略;压力敏感元件的热场对温度信号的干扰需要通过对温度信号的精确标定来消除.

关键词： 多功能传感器 信号干扰 计算机模拟 敏感元件 热场分析

作者: 王蔚 刘晓为 桑胜田 张战峰

作者单位: 哈尔滨工业大学MEMS中心(哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 82-84

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）