超簿RCA氧化硅膜的特性研究

摘要：

该文着重描述了用RCA化学清洗方法是如何制备出优化的超薄氧化硅膜的。同时，针对它在多晶硅发射极器件中的应用，通过时该膜在不同制备条件下的测量及退人前后的比较，进一步对该薄膜的一些应用特性进行了研究。

关键词： RCA氧化硅膜 特性 RCA化学清洗

作者: 罗葵 金雪林

作者单位: 大学微电子研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 187～189

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）