高灵敏度低频AFAM成像技术

摘要：

　　原子力声显微镜(AFAM)的试样激振模式是在原子力显微镜(AFM)的基础上，在试样底部施加声激励而实现的新型材料表征技术，能够同时地原位地对材料的亚表面结构及弹性性质进行检测。试样振动频率的选取对成像结果影响很大。本文基于扫描探针声显微镜的试样振动模式对SiO2基底上激光损伤的HfO2薄膜进行检测，并对比不同频率下的成像结果。相比于表面像，试样振动模式的声像能够反映清洗过程中抛光粒子在基底表面留下的划痕，以及薄膜受损区域周围存在的残余应力。同时低频下的成像效果更理想，对亚表面结构和弹性性质的反映更为显著。

关键词： 原子力声显微镜 试样激振模式 声激励 成像效果

作者: 姚文刚 程茜 钱梦騄

作者单位: 同济大学声学研究所,上海 200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011西安-上海市声学学会第二届声学学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 5-7

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）