微电子器件工业生产中的静电防护研究

摘要：

　　从ESD过程分析入手，对微电子器件工业生产中的静电来源以及泄放途径进行了剖析，介绍了4种静电放电模型，进而阐述了微电子器件工业生产中的静电防护技术以及静电防护体系，以确保静电防护的有效性。实测表明：经过软硬件电磁兼容处理后，该系统的测试精度及小信号识别能力得到了很大的提高。

关键词： 静电防护 微电子器件 可靠性 工业生产

作者: 刘军霞 张新焕

作者单位: 南京国博电子有限公司，江苏南京 210016 中国电子科技集团公司第五十五研究所，江苏南京 210016

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届电磁环境效应与防护技术学术研讨会

会议地点: 北戴河

会议语种:中文

页码: 91-93,108

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）