透射电子显微镜高压电源箱气体绝缘技术及充气工艺

摘要：

　　本文通过比较高压系统常用气态绝缘介质的性能。对比影响气体绝缘性能的关键参数。给出了透射电子显微镜高压电源箱绝缘材料的优化选择，介绍了六氟化硫(SF6)气体在透射电子显微镜高压电源绝缘中的应用。计算了充SF绝缘气体的高压电源箱，并给出了透射电子显微镜高压箱的绝缘充SF6气体工艺。

关键词： 透射电子显微镜 高压电源 绝缘气体 充气工艺

作者: 董全林 于成交 袁水平 杨彦杰 张春熹 姚骏恩 许春兰 王爱民

作者单位: 北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室，仪器科学与光电工程学院，北京 100191 北京电子科技职业学院，北京100036 国营红峰机械厂,湖北 孝感 432000

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011年全国背散射电子衍射(EBSD)技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 455-459

在线出版日期: 2011-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）