微纳结构快速成形方法研究
为了实现微纳结构的快速成形，提出无掩膜加工方法，实现纳米级加工、微米级加工和纳米级到毫米级的连续加工——快速成形，无掩膜加工是利用熔融沉积FDM(Fused Deposition Modeling)技术，经过其理论和技术改进后，可以用在微纳结构加工。其中关键部分是熔粉头、进给精度、欠沉和过沉控制、数据处理。熔粉头采用电火花瞬间高温产生液滴快速成形技术，使液滴在预定位置凝固；进给精度控制在1nm以下，有纳米级直线电动机(专利号：98216753．9)保证；欠沉和过沉有快速成形自适应扫描路径技术实现：数据处理采用高精度、高速度和复杂数据模型。经过研究，快速点成形和光电技术实现微电机微纳结构快速成形——即无掩膜加工。
微纳结构 快速成形 纳米技术 无掩膜加工
郑炜 郑珲 洪永强 李延福 张畋征 秦玉红
厦门大学物理与机电工程学院机电工程系 中国电信厦门分公司互联网业务中心
国内会议
西安
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199-204
2011-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）