微波铁氧体器件薄膜的制备及性能研究

摘要：

　　该文采用RF磁控溅射工艺制备了射频薄膜电感用的铁氧体薄膜。为了降低铁氧体薄膜在高频下的涡流损耗、剩余损耗等，通过对铁氧体材料的磁特性分析，研究了不同的温度、成分掺杂对铁氧体磁性能的影响，获得了矫顽力为5.6196Guss的铁氧体薄膜，并采用SEM、XRD对铁氧体薄膜表面结构进行了表征，采用VSM对薄膜磁性能进行了测试。

关键词： RF磁控溅射工艺 铁氧体薄膜 薄膜制备 性能优化

作者: 杨已青 郑梁 武军 刘建 秦会斌 胡冀 徐军明

作者单位: 杭州电子科技大学新型电子器件与应用研究所,浙江,杭州,310018

会议类型: 国内会议

会议名称: 浙江省电子学会2010学术年会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2010-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）