FePt单层连续膜和颗粒膜的制备与磁性能研究

摘要：

通过磁控溅射的方法，制备了不同Ar 气压以及不同膜厚的FePt 薄膜。利用透射电镜（TEM ）研究了溅射 气压和膜厚对薄膜形貌的影响。利用振动样品磁强计(VSM)研究了溅射气压和膜厚对薄膜磁性能的影响。结果表明： 溅射气压和膜厚对溅射态单层FePt 薄膜的表面形貌、颗粒尺寸有很大影响。随着溅射气压的增大，颗粒尺寸减小， 从连续膜转变成颗粒膜；随着膜厚的增加，颗粒尺寸变大，从颗粒膜变成连续膜。可以通过调节溅射气压控制FePt 的岛状结构，从而获得较理想的FePt 颗粒薄膜。溅射气压和膜厚对经过热处理的L10-FePt 薄膜的磁性能有很大影响。 随着溅射气压增加，形核场由正值转变成负值，矩形比有增大趋势；随着厚度的增加，无序-有序相转变更充分。

关键词： 金属材料 颗粒膜 磁控溅射 L10-FePt

作者: 王建省 裴文利 杨波 李松 任玉平 秦高梧

作者单位: 东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室,沈阳 110819

会议类型: 国内会议

会议名称: 第5届海内外中华青年材料科学技术研讨会暨第13届全国青年材料科学技术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 810-815

在线出版日期: 2011-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）