MOCVD法制备双面带材的模拟计算与实验研究初探

摘要：

采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法制备双面YBa2Cu3O7-δ(YBCO)高温超导带材，将Y(DPM)3、Ba(DPM)2和Cu(DPM)2源按配比混合，由氩气与氧气携带送入反应室，利用Computational Fluid Dynamics软件模拟计算双面沉积MOCVD设备反应室的气流场和温度场.拟合结果表明采用较低的气流速度有利于基带上温度的均匀性的提高.通过优化反应室温度和工作气压等参数，成功制备出表面平整度较高、致密性较好，具有良好双轴取向生长的YBCO薄膜.

关键词： 气流场 温度场 金属有机化学气相沉积 高温超导带材 YBCO薄膜

作者: 于淼 张昭 高磊 敬通国 熊杰 赵晓辉 陶伯万

作者单位: 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电介质物理、材料与应用学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 50-53

在线出版日期: 2010-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）