镧掺杂锆钛酸钡薄膜结构与介电性能研究

摘要：

采用Sol-gel法在Pt／Ti／SiO2/Si衬底上制备镧掺杂(BaZr0.2Ti0.8)O3(BZT)薄膜.结果表明：掺锢的BZT薄膜为钙钛矿结构，随着镧掺量增加，其晶体结构由四方相变为立方相;BZT薄膜晶粒尺寸随镧掺量增加先增大后减小;镧显著地降低了BZT薄膜的介电常数，但介电常数随镧掺量变化不大.

关键词： 介电性能 镧掺杂 锆钛酸钡 晶体结构

作者: 邓小玲 蒋林 蔡苇 符春林

作者单位: 重庆科技学院冶金与材料工程学院 重庆 沙坪坝区 401331

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电介质物理、材料与应用学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 81-83

在线出版日期: 2010-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）