热膨胀系数对氧化铝陶瓷基片改性釉面质量的影响

摘要：

采用丝网印刷法在厚膜片式电阻用氧化铝陶瓷基片表面上制备CaO-2O3-SiO2系玻璃釉涂层，并在一定的温度下进行烧结处理，研究了玻璃釉涂层热膨胀系数对CaO-Al2O3-SiO2系玻璃釉涂层表面形貌的影响.制备出无缺陷、均匀、光滑平整的玻璃釉改性涂层，AFM分析表明，在10 Bm×10 μm的较大范围内实现峰-谷差在9 nm以内，均方根粗糙度由涂覆玻璃釉之前的6 μm减小到0.523 nm，且玻璃釉软化温度高于1300℃，获得了优化的氧化铝陶瓷基片表面平整化改性工艺.

关键词： 陶瓷基片 玻璃釉 丝网印刷 表面改性 热膨胀系数 氧化铝

作者: 郑善学 张继华 张巧真 娄非志 陈宏伟 杨传仁

作者单位: 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电介质物理、材料与应用学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 180-183

在线出版日期: 2010-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）