基于阻抗变换的膜厚测量系统设计

摘要：

本义介绍了基于阻抗变换电路的LC网络阻抗-膜厚测量系统设计，通过传感器的阻抗测量间接测量薄膜厚度。基于阻抗转换电路的良好特性，使得系统具有体积小、速度快、误差小，并采用合适的数据处理和温度补偿，能得到较高精度的测量结果，使膜厚测量实现智能、非接触、在线实时和高精度。

关键词： 薄膜 厚度测量 阻抗变换电路 I2C总线 温度补偿 在线数据处理

作者: 王新明

作者单位: 福建师范大学物理与光电信息科技学院 福州 350007

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 辽宁丹东

会议语种:中文

页码: 79-81

在线出版日期: 2011-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）