位相物体干涉测量与扫描成像系统改进

摘要：

分析位相物体干涉测量与扫描成像系统存在的问题，通过引入小焦距成像透镜，明显减少系统的长度，改善位相测量稳定性；同时提出获取干涉条纹周期及其位移的极值间距算法，提高位相测量与成像的速度。改进后系统的位相测量分辨率达π／15～π/25，测量范围达0～2π，测量位相重复性精度约1％，成像质量有所提高。

关键词： 位相物体 干涉测量 扫描成像 位相测量 条纹周期 极值间距算法

作者: 刘云 王焱 黄佐华

作者单位: 华南师范大学物理与电信工程学院,广州 510006

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 辽宁丹东

会议语种:中文

页码: 226-229

在线出版日期: 2011-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）