PIIID制备DLC-TiAlSICN纳米复合涂层的微结构及摩擦特性
采用多阴极等离子体注入与沉积装置制备了DLC-TiAlSiCN纳米复合涂层，采用X射线衍射(XRD)、X射线光电予能(XPS)，拉曼光谱(Raman)、透射电子显微镜(TEM)、纳米探针和摩擦实验对制备的涂层的微结构和摩擦特性进行测试，结果表明：所有的DLC-TiAlsiCN涂层具有典型的纳米复合结构，n-TiCN纳米晶镶嵌在a-Si3N4，a-Sic，a-CN a和DLC. 的矩阵中，随着涂层中DLC含量的增加，相邻晶粒之间的间距增大.当相邻晶粒之间的间距较小时，DLC-TiAlSiCN涂层具有超高的硬度50Gpa，但摩擦系数较高，DLC含量增加有助于涂层摩擦性能的改善，但涂层的硬度降低。
多元等离子体注入 TiAlSicN 纳米复合涂层 微结构 摩擦性能 X射线衍射
王浪平 解志文 王小峰 闫久春 黄磊 陆洋
哈尔滨工业大学现代焊接与连接国家重点实验室，哈尔滨 150001
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贵阳
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200-206
2011-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）