用于场致发射阴极的丝网印刷Nano-SiC薄膜的研究

摘要：

本文研究了低成本大面积丝网印刷在玻璃衬底上均匀的纳米碳化硅(Nano-SiC)薄膜的场致发射特性。提出了机械分散团聚的Nano-SiC的方法，实验了适合玻璃衬底上制备Nano-SiC薄膜的浆料配方，摸索玻璃衬底上Nano-SiC薄膜的烧结工艺，研究了不同Nano-SiC含量的薄膜的场发射特性，得到了最佳场致发射特性的配方比例。对样品进行微观分析和表征。具有稳定均匀场致发射性能的Nano-SiC薄膜可作为显示器器件的阴极材料。

关键词： 纳米碳化硅薄膜 场发射 丝网印刷 机械分散团聚 浆料配方 烧结工艺 阴极材料

作者: 张秀霞 魏舒怡 朱长纯 卢秉恒

作者单位: 北方民族大学电信学院 宁夏银川 750021 西安交通大学 陕西 西安 710049 中国科学院研究生院,北京 100049 西安交通大学 陕西 西安 710049

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国纳米科技西安研讨会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 23-28

在线出版日期: 2009-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）