采用射频等离子体增强化学气相沉积合成碳纳米管及其场发射特性的研究

摘要：

以玻璃为基底，采用射频等离子体增强热化学气相沉积法合成了碳纳米管。在450℃、在氮气／氢气气氛中加热和活化镍膜，然后在氮气／乙炔中，分别以600W、1500W和2400W射频等离子功率持续沉积碳纳米管60min。SEM显示生长出来的碳纳米管直径从8nm至40nm不等，长度大约1．0um，TEM结果显示符合常见的碳纳米管参数。经比较，较低的等离子体功率比高的射频等离子体功率能更好地合成碳纳米管。碳纳米管的场效应测试结果为，在发射电流密度为1uA／cm2时，发射开启场强为1．17V／um。

关键词： 碳纳米管 射频等离子体 化学气相沉积 场发射特性

作者: 刘永相 刘君华 朱长纯

作者单位: 西安交通大学电气工程学院 西安交通大学电子与信息工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国纳米科技西安研讨会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 83-86

在线出版日期: 2009-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）