微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜

摘要：

以乙醇和氢气为气源，利用微波等离子体化学气相沉积(CVD)法，在微波功率为700W，反应室气压为7KPa，基片温度为600℃时，在Si基片上制备了形态与质量较好的金刚石薄膜。生长的金刚石薄膜在SEM下呈现规则的四面体形多晶结构，金刚石晶粒尺寸约为1μm，用AFM进行观察晶粒呈现球簇状。在XRD图谱中，可以观察到金刚石特有的(111)面和(220)面所对应的衍射峰，光致发光谱中也获得了金刚石特有的发光峰。

关键词： 微波等离子体 金刚石薄膜 化学气相沉积 多晶结构

作者: 王琪琨 王雪冬 吴琪 朱长纯

作者单位: 西安交通大学理学院,710049,西安

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国纳米科技西安研讨会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 101-104

在线出版日期: 2009-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）