多层弯曲磁微执行器宏模型的有限元法网格划分

摘要：

该文首先介绍了多层弯曲磁微执行器的工作原理，然后建立有限元分析的模型，并对模型进行网格划分，最后利用柏松方程结合已知的连界条件求出各节点的磁势，从而进一步可以求出上极板的弯曲量。

关键词： 多层弯曲磁微执行器 有限元 网格 柏松方程

作者: 朱珂 黄庆安

作者单位: 东南大学微电子中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 234～237

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）