TiN/TaN多层膜原子力显微镜图像的多重分形谱

关键词： 多层膜 显微镜图像 多重分形谱

作者: 熊刚 刘文汉 孙霞 吴自勤

作者单位: 中国科学技术大学物理系(合肥) 中国科学技术大学基础物理中心(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一次全国电子显微学会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 437～438

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）