多层薄膜固相处延CoSi<,2>反应动力学研究

关键词： 多层薄膜固相 CoSi薄膜技术 薄膜厚度 反应动力学

作者: 屈新萍 茹国平 李炳譤 吴卫军

作者单位: 大学电子工程系(上海) 大学电子工程系(上海)5

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 195～197

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）