高掺杂的掺硼金刚石薄膜电极的性质

摘要：

金刚石薄膜具有优异的物理性能和极高的应用价值。在金刚石薄膜生长过程中掺入硼杂质,可得到具有良好导电性能的p 型金刚石膜。将硼掺杂金刚石薄膜沉积到电极基体如石墨、硅片和钛片等表面上,可制得金刚石膜电极材料,在物理、化学、生物等方面已显示出了极好的应用前景。但是由于天然金刚石的储量有限,使得金刚石在工业中的应用受到限制.

关键词： 掺硼金刚石 薄膜电极 导电性能

作者: 王珺 贾金平 张卫

作者单位: 上海交通大学环境科学与工程学院 上海 200240

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国环境化学学术大会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 512

在线出版日期: 2011-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）