大面积非晶硅/微晶硅叠层薄膜太阳电池的激光划线研究
本文主要对大面积非晶硅/微晶硅薄膜太阳电池的第二道和第三道激光切割进行了研究。针对微晶硅薄膜厚度增加、硅材料也更为致密，从而使得其对激光设备及工艺提出了更高的要求。通过我们对激光切割中的电流、频率以及电池有无背反射ZnO的研究，对非晶硅/微晶硅薄膜太阳电池的切割工艺有了一定的深入认识。为获得高效率大面积的非晶硅/微晶硅叠层电池的激光切割工艺提供了很好的数据基础。
非晶硅 微晶硅 激光切割 薄膜太阳电池
张德坤 任慧志 魏长春 许盛之 王宗畔 赵颖 张晓丹
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津,300071
国内会议
北京
中文
237-240
2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）