梯度掺杂技术生长绒面结构ZnO-TCO薄膜及其性能研究

摘要：

为提高MOCVD-ZnO-TCO 薄膜的光散射能力和在近红外区域的透过率，本研究小组提出新的工艺技术—“梯度掺杂”技术，即根据不同掺杂量下ZnO:B 薄膜的性能差异，在薄膜生长的不同时间内采用不同的掺杂量，实现对ZnO:B 薄膜表面特性、光电特性的改善。实验获得的ZnO-TCO 薄膜具有高可见光及近红外区域透过率和良好的电学性能（迁移率为22.9 cm2/Vs、电阻率为1.2×10 -3 Ωcm）。此种新型技术生长的TCO 薄膜有望更好地应用于Si 基薄膜太阳电池上，尤其是a-Si/μc-Si 叠层薄膜太阳电池。

关键词： 绒面结构 梯度掺杂技术 薄膜太阳电池 表面特性 光电特性

作者: 闫聪博 陈新亮 张德坤 孙建 魏长春 张晓丹 赵颖 耿新华

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室;南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室,天津 300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国可再生能源学会2011年学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 397-402

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）