一种非真空工艺制备ITO薄膜的方法

摘要：

本文采用了一种非真空法制备ITO 薄膜。将In-Sn 合金颗粒制备成为墨水，采用旋涂，涂覆等方法制备成预置膜，再退火烧结形成ITO 薄膜。通过SEM，透过率，方块电阻等参数的表征，发现制备的ITO 薄膜在透过率和方块电阻上可以与一般的ITO 相当，通过改善预置膜制备和烧结工艺，有望应用于全非真空法制备薄膜太阳电池中。

关键词： 非真空法 烧结工艺 薄膜太阳电池 ITO薄膜

作者: 盛夏 汪雷 杨德仁

作者单位: 浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江大学材料系

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国可再生能源学会2011年学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 429-431

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）