利用计算流体力学方法对管式扩散炉中内部流场状况的初步研究
对生产用管式扩散炉进行了数学建模及流体力学数值模拟计算。发现管式扩散炉内主要有两个的涡流区域:入口两侧区域及硅片背流区域。涡流区轴向长度分别为0.31m 及0.10m。该区域的存在会对扩散炉内部流场产生较为重要的影响。该研究成果对晶硅太阳电池工业化生产的扩散工艺参数调节及管式扩散炉炉管设计具有重要的理论指导意义。
计算流体力学 管式扩散炉 数值模拟 流场状况 晶硅太阳电池 炉管设计
侯立宏 刘祖明 申兰先 马逊
云南师范大学太阳能研究所;教育部可再生能源材料先进技术与制备重点实验室;云南省农村能源工程重点实验室;云南省昆明市一二一大街298号 650092
国内会议
北京
中文
1043-1045
2011-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)