大面积VHF-PECVD沉积系统的研制及其微晶硅薄膜电池工艺研发

摘要：

针对国际硅薄膜太阳电池的发展趋势，本文进行了可进行大面积微晶硅薄膜沉积的 VHF-PECVD 沉积系统的研发。首次在国内获得了具有自主知识产权的大面积微晶硅薄膜沉积系统。同时通过对工艺参数的优化，获得了大面积电学特性、结构特性均匀的微晶硅薄膜。为了检测制备薄膜的特性，将生产线上单室沉积的非晶硅/非晶硅锗叠层电池进行了技术升级，获得了效率达到9.2％的非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三叠层薄膜太阳电池。

关键词： 微晶硅 三叠层电池 薄膜电池 沉积系统 电学特性

作者: 张晓丹 任慧志 魏长春 许盛之 张德坤 王宗畔 赵颖

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;光电信息技术科学教育部重点实验室;光电子薄 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;光电信息技术科学教育部重点实验室;光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津,300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国可再生能源学会2011年学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1092-1095

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）