复合分子泵在全玻璃真空集热管烘烤排气线的应用推广

摘要：

全玻璃真空集热管烘烤排气线42 辆台车全部采用复合分子泵进行烘烤排气抽高真空获得成功。复合分子泵长时间生产运行后，经受多次集热管管口破裂引起的大气冲击，没有损坏，抽真空性能无明显变化。与通常采用的油扩散泵相比，分子泵抽真空烘烤排气的集热管无油污染，制备的集热管的真空度一致性提高。烘烤排气线的故障率降低。另外采用分子泵抽高真空节能效果明显。

关键词： 复合分子泵 抽速测试 集热管烘烤排气线 大气冲击 真空度

作者: 苗建朋 王双 刘建立 刘建明 周旭 池华敬 陈革 章其初

作者单位: 皇明太阳能集团镀膜研发中心,山东,德州,253000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国可再生能源学会2011年学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1145-1148

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）