电弧离子镀与磁控溅射工艺复合制备TiAlN薄膜的高温抗氧化试验研究

摘要：

采用Ti 靶电弧离子镀与Al 靶中频磁控溅射相结合的复合工艺，在不锈钢基体上制备了TiAlN 薄膜样品。并与电弧离子镀制备的TiN 薄膜在大气环境下进行高温抗氧化试验。利用电子扫描电镜（SEM）、能谱（WDXS）和X 射线衍射（XRD）、显微硬度计对TiAlN 薄膜和TiN 薄膜氧化前和氧化后的性能进行了试验及分析，试验结果表明：TiAlN 薄膜氧化前和氧化后的硬度均随着铝靶磁控溅射的增强铝含量的提高而增加；TiAlN 薄膜的高温稳定性明显优于TiN 薄膜；经800℃温度氧化后，TiAlN 薄膜内部发生了柱状晶化，同时薄膜发生膨胀，薄膜氧化后的平均厚度增加了78.4％，TiAlN 薄膜因膨胀而变的疏松，致密性下降。

关键词： 抗氧化性能 中频磁控溅射 电弧离子镀 TiAlN薄膜

作者: 林小东 宋绪丁 傅高升

作者单位: 福建交通职业技术学院,福建福州,350007 长安大学工程机械学院,陕西西安,710064 福建交通职业技术学院,福建福州,350007;福州大学机械工程学院,福建福州,350001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第12届21省(市、自治区)4市铸造学会会议

会议地点: 乌鲁木齐

会议语种:中文

页码: 152-157

在线出版日期: 2011-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）