载能团簇直接诱发硅单晶转变成纳米晶结构
用扫描探针显微镜(SPM)观察了能量76keV、剂量1.7×l0~(17)cm~(-2)的N_(10)~+团簇离子注入Si(lll)单晶表面的形貌。发现在此条件下,注入层已直接转化成具有一定粒度分布的纳米晶结构,并测量了形成晶粒的尺度及分布。用红外吸收实验检测了该实样的光学特性。实验表明,该试样对频带很宽的红外光产生了很强的均匀吸收,在红外光区,其透光度均保持在lO％.左右,表明其注入层已形成一种品质优良的吸光材料。
氮团簇注入 硅单晶 纳米晶结构 红外吸收谱
缪竞威 师勉恭 王培禄 王虎 杨朝文 缪蕾 朱洲森 郑思孝 刘仲阳 廖小东
四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室 成都 610064
国内会议
兰州
中文
333-336
2004-07-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）