多波长扫描法测量物体表面微观轮郭

摘要：

数字光学轮郭仪用于测量物体表面的微观轮廓，从中获得表面粗糙度等信息。该文首先分析了单波长法的测量范围受到限制的原因，介绍了适应于多波长情况下的测量原理，并对各自的优缺点进行了分析。

关键词： 多波长法 相干扫描法 本移干涉术 数字光学轮廓仪

作者: 曹原 程维明 韦春龙

作者单位: 上海大学精密机械工程系(上海嘉定)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会精密机械分会99”精密工程学术讨论会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 94-96

在线出版日期: 1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）