类金刚石薄膜的相变实验研究

摘要：

　　采用等离子体化学气相沉积(PCVD)方法在Si(100)基体上沉积DLC(diamond-likecarbon)类金刚石薄膜，利用台阶仪测量了薄膜的厚度和应力，并用轮廓仪测量了薄膜的相变法向弯曲变形。实验结果表明，沉积后DLc/si材料发生了明显的相变弯曲变形，产生了很大的残余内应力。产生变形的主要因素是薄膜制备过程中由于相变导致的体积膨胀。

关键词： 类金刚石薄膜 相变实验 残余应力 等离子体化学气相沉积

作者: 李士一 骆仕丹 裴永其 罗正怡 江晓禹

作者单位: 西南交通大学,力学与工程学院,四川 邮政编码 6100311

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省第二届实验力学学术会议

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 142-144

在线出版日期: 2011-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）