声电荷输运器件材料的选取

摘要：

　　本文对声电荷输运器件(Acoustic Charge Transport，简称ACT)的工作原理进行了简单介绍，阐述了声电荷输运器件材料选择的要求。文中介绍了砷化镓材料与氮化镓材料，采用TCAD商用模拟软件分别对两种材料双异质结结构ACT进行了导带与电子密度分布仿真与验证。通过对两种材料的电子迁移率、机电耦合系数等相关参数及导带与电子密度分布仿真结果的比较，理论证实采用氮化镓更适于制作声电荷输运器件。

关键词： 声电荷输运器件 声表面波 高电子迁移率 强压电特性 电子密度分布 砷化镓 氮化镓

作者: 伍建峰 王晓彧 吴浩东 高怀 周建军

作者单位: 南京大学教育部近代声学重点实验室，南京，210093 东南大学苏州研究院高频高功率器件与集成技术研究中心，苏州，215123 东南大学国家ASIC系统工程中心，南京，210096 单片集成电路与模块国家级重点实验室，南京，210016

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011中国西部声学学术交流会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 348-350

在线出版日期: 2011-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）