Al/CuPc/Cu肖特基气敏二极管制备与特性

摘要：

　　实验采用溅射和蒸发镀膜工艺,制备了一种新型的Al/CuPc/Cu三明治结构NO2气敏传感器。这种器件对NO2气体具有较高的敏感性,制备工艺简单,成本较低。通过研究其在NO2气体中电学特性的变化,来表征其敏感特性。研究结果表明,在10ppm的NO2气体环境中,器件的正向电流明显增大。通过比较器件在空气和NO2气体中器件的肖特基势垒高度的变化,发现通入NO2气体50分钟后,CuPc/Al势垒高度降低了60meV,正向整流电流增加77倍。

关键词： 酞菁铜 敏感度 气敏传感器 电学特性

作者: 刘跃 王东兴 焦兵兵

作者单位: 哈尔滨理工大学应用科学学院电子科学与技术系,工程电介质及其应用教育部重点实验室,150080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国工程电介质学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 149-153

在线出版日期: 2011-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）