交流电作用下不同宽度金纳米互连引线的疲劳行为研究

摘要：

　　本文基于扫描电镜(SEM)下的四探针系统进行了35nm厚、0.1-5μm宽的金纳米互连线在交流电作用下的力电疲劳实验.在保留传统的扫描电镜下的四探针实验的同时加入了温度探针的使用，将四探针推广到五探针实验。并且通过理论推导得到在交流电作用下金纳米引线上的温度场分布，分析得到极薄板细金纳米线的疲劳破坏机制.结果显示较细的纳米引线具有较高的疲劳寿命，同时纳米线呈现出较多的电致热力行为.

关键词： 交流电作用 金纳米互连引线 疲劳行为 温度探针 电致热力行为

作者: 凌雪 孙丽娟 李喜德

作者单位: 清华大学航天航空学院,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 北京力学会第17届学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 31-32

在线出版日期: 2011-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）