MEMSNEMS驱动器吸合特性的模型介绍

摘要：

　　通过考虑悬臂梁式和两端固定式两种MEMS＼NEMES驱动器，分别比较了四种广泛应用的吸合模型：单自由度模型、线性叠加模型、非线性梁模型和动态细长板模型。比较单自由度模型和动态细长板模型时误差较大，原因是低估了静电力；比较线性叠加模型、非线性梁模型和动态细长板模型时误差较小，原因是边界条件没有完全满足。

关键词： 机电系统 驱动器 吸合特性 误差估计 理论模型

作者: 王浩龙 林文惠

作者单位: 中国农业大学理学院,北京 100083

会议类型: 国内会议

会议名称: 北京力学会第17届学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 125-126

在线出版日期: 2011-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）