微尺度力学检测技术研究

摘要：

　　随着微纳米技术的发展，涌现出很多微器件如MEMS、NEMS等。这些微器件的可靠性和器件的力学性能直接相关，迫切需要开展力学性能测量的研究，其中最重要的是相应尺度的变形测量和结构检测技术。尺寸的缩小对力学测量技术提出很多挑战，如加载方式，变形测量。针对微纳米器件变形测量和结构检测的需要，基于高分辨率扫描电镜平台，发展了倍增云纹的理论研究和随机相移云纹反演方法。对微互连结构的聚合物薄膜和导线的屈曲行为进行了实验研究和理论分析。

关键词： 微尺度 力学测量 结构检测 微纳米技术

作者: 谢惠民 李艳杰 王庆华 胡振兴

作者单位: 清华大应用力学教育部重点实验室,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 北京力学会第17届学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 276-278

在线出版日期: 2011-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）