一种基于铬膜玻璃的光刻精缩系统的研究与实现

摘要：

　　数字光刻技术是下一代光刻的先进代表。本文提出了一种利用DMD(数字微反射镜装置)进行数字掩模光刻成像，在铬膜玻璃上制作二元光学掩模。将设计好的CAD电脑图形文件，输出到基于DMD的数字掩模成像系统，经过曝光、显影、腐蚀及去胶即可得到需要的掩模。此掩模可用于光刻精缩系统，在晶圆片上得剑比掩模图形上小得多的图案，以达剑更高分辨率的要求。

关键词： DMD 铬膜玻璃 二元光学元件 数字光刻 光刻精缩系统

作者: 徐冉冉 颜丽华 龚勇清

作者单位: 南昌航空大学 测试与光电工程学院,江西 南昌 330063

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010中国光学学会全息与光信息处理专业委员会年会暨专委会成立25周年纪念会

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 80-84

在线出版日期: 2010-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）