基于LED光源的DMD-SLM超微缩直写技术研究

摘要：

　　本文介绍一种微米级超微缩直写技术，使用辐射波长为400nm的LED作为光刻光源，需要微缩加密的图像电信号经计算机处理后输出到DMD空间光调制器，LED辐射的非相干性光由聚光、匀光系统整形为平台光斑(Flat-top)均匀照射在DMD空间光调制器上，由双远心成像透镜系统读山DMD空间光调制器输出的图像光信号并微缩成像在光刻蚀材料上，计算机控制XY移动平台及曝光可获得人面积的微米级微缩图像或OVD图像。

关键词： 微米级超微缩直写技术 LED光源 微缩图像 光刻光源

作者: 吴卫丹 李耀棠 张世超 范少武 黄云 杜俊斌 黄泽文

作者单位: 中国科学院广州电子技术研究所,广州,510070

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010中国光学学会全息与光信息处理专业委员会年会暨专委会成立25周年纪念会

会议地点: 南昌

会议语种:中文

页码: 94-98

在线出版日期: 2010-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）