白光干涉谱数据处理的新方法
提出了一种基于动态均值滤波、二次曲线法解调和拟合法求光程差的数据处理新方法。与传统的算法比较，动态均值滤波避免了耗时的快速傅立叶变换，二次曲线法解调有更好的解调精度，拟合法求光程差可去除噪音较大的数据。新算法有快速、可使用的测量范围大和抗干扰能力强的优点。新方法可适用的白光干涉谱数据距离范围为10到100um。在样品上采集到的白光干涉谱数据的对比度约为0．06、信噪比约为18dB。
白光干涉谱 数据处理 动态均值滤波 光程差测量
张秀达 严惠民 杜艳丽 聂永军 施柏煊
浙江大学光电工程系国家光学仪器重点实验室国家光学仪器工程技术研究中心 浙江杭州 310027
国内会议
北京
中文
479-482
2005-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）